固化炉

PI/BCB/PB0排氧固化炉

产品品牌:HASUC

产品型号:HSQMO系列

详 细 介 绍

450度高温无氧烤箱采用智能烘箱过程管理系统,由上海和呈仪器制造有限公司自主研发,基于TCP/IP协议,与工厂系统对接,实现自动化烘烤,过程管理。控制方便、操作简单、灵活性大。高精度控制、智能化操作、人性化的构造,大大提高生产效力!


450度高温无氧烤箱主要做BPO胶/PI胶/BCB胶固化,IC(晶圆、CMOS、Bumping、TSV、MENS、指纹识别)、FPD、高精密电子元件、电子陶瓷材料无尘烘干,电工产品、材料、零备等高温洁净和无氧环境中干燥和老化试验。


450度高温无氧烤箱主要技术指标
1、洁净等级:Class100级
2、含氧量:≦50PPM
3、使用温度:室温+20400℃,温度可做:450℃;
4、腔体数量:2个,上下布置;独立控温
5、炉膛材料:SUS304镜面不锈钢;加热元件:不锈钢加热器;热偶
6、空炉升温时间:1.5h;
7.空炉降温时间:375℃--80℃;降温时间1.5-3.5小时 (采用水冷及风冷);
8.智能控制系统:日本欧姆龙PCL+PC工控电脑


智能控制系统特点:
可接入MES和ERP通讯
权限分级管理,给每个管理者、工程师、操作员独立用户名和密码
智能控制系统,历史数据、操作、报警,事件等等数据查询,记忆操作步骤,操作便捷PC 内部记录数据,使用 Excel 等常用软件可以读取,短数据记录间隔5S;


工艺线标准
1、在常温下以3-5℃/min升温速率升温40分钟到200℃
2、200℃状态下恒温45分钟
3、再40min升到375℃
4、375℃恒温1H
5、以每分钟3-5℃的降温速率,79min左右从375℃降到75℃

触摸屏显示界面

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产品参考图: